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珠海突围半导体设备业,国内首台晶圆级多驱解离刻蚀设备面世|界面新闻
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珠海突围半导体设备业,国内首台晶圆级多驱解离刻蚀设备面世|界面新闻
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2025-06-12
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界面新闻记者 | 张熹珑 广东珠海是国内集成电路起步最早的城市之一,但长期以来设计业“一业独大”。现在,这座城市面向相对薄弱的制造环节进军。 5月23日,珠海恒格微电子装备有限公司(简称“恒格微电子”)发布国内首台晶圆级等离子多
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